微波ECR等离子体发生器校准规范

Calibration Specification for Microwave ECR Plasma Generator

T/BEA 40002-2022 其他标准

现行

标准状态

发布日期

2022-01-18

实施日期

2022-02-09

基础信息

标准号

T/BEA 40002-2022

团体名称

北京电子仪器行业协会

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本标准适用于真空环境下使用的新制造(或新购置)和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。

起草单位

北京东方计量测试研究所

起草人

贾军伟、邓星亮、柴昊、刘民、武宇婧

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