X射线光电子能谱(XPS)测试服务规范

Specification for X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) testing services

T/CASMES 432-2024其他标准

现行

更新日期:2026-03-28

标准状态

发布日期

2024-11-25

实施日期

2024-12-01

基础信息

标准号

T/CASMES 432-2024

标准分类

标准层级

团体标准

主要技术内容

本文件规定了 X 射线光电子能谱(XPS)测试服务的基本要求、服务流程、服务质量管理。

起草单位

杭州研趣信息技术有限公司、江苏集萃光电检测中心有限公司、常熟理工学院、季华实验室、南通默斯检测有限公司、北京理工大学重庆创新中心、青岛大学、哈工大郑州研究院、广东省科学院半导体研究所、哈尔滨工业大学

起草人

陈龙、朱旦、殷尧、殷文宇、周玉铎、顾坚、李亚丽、许红星、李文豪、王巧、杨磊

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