光学真空腔体洁净度检测规范

第 3章　术语、定义和缩略语为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。第4章 真空腔体污染物本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等。第5章 洁净度标准本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。第6章 检测准备本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求。第7章 检测与结果本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求。附录A附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔A RGA质谱结果示例、腔B RGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例。

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