晶体硅光伏电池用卧式低压扩散炉

本文件规定了晶体硅光伏电池用卧式低压扩散炉（以下简称“扩散炉”）的术语和定义、主要技术指标、相关试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存应注意的事项。本文件适用于晶体硅光伏电池用卧式低压扩散炉的设计、制造，主要用于光伏电池制造中硅片的硼掺杂、磷掺杂等工艺。

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