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本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。
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Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of Ga2O3 single crystal substrate
现行
2024-05-15
2024-05-16
T/ZSA 231-2024
中关村标准化协会
团体标准
本文件描述了利用双晶X射线衍射仪测试氧化镓单晶片摇摆曲线及其半高宽的方法。本文件适用于熔体法、液相法及气相法生长的β相氧化镓单晶片，对前述单晶片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京镓创科技有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京邮电大学、北京聚仪共享科技有限公司
李培刚、宫学源、闫方亮、李龙、杨丽霞、王进进、朱勋、郑红军、刘祎晨、刘紫洋
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
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