环形线单晶硅棒截断机

本文件规定了环形线单晶硅棒截断机的基本参数、型号、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存和质量承诺。本文件适用于采用环形金刚线加工直径为200 mm～340 mm 的单晶硅棒截断机（以下简称截断机）。