微束分析 扫描电镜 图像清晰度评价方法

DB44/T 1527-2015广东省

废止

标准状态

发布日期

2015-01-30

实施日期

2015-04-30

基础信息

标准号

DB44/T 1527-2015

批准发布部门

广东省质量技术监督局

技术归口

广东省质量技术监督局

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

N53

国际标准分类号

71.040.01

行业分类

信息传输、软件和信息技术服务业

标准类别

方法标准

标准分类

广东省

标准层级

地方标准

备案信息

备案号

47073-2015

备案日期

2015-07-18

适用范围

本标准适用于扫描电子显微镜(SEM)图像清晰度的评价,涉及术语定义、获得SEM图像的步骤、SEM图像的获取、图像内区域的选取、具体的评价方法和检测报告等内容。其中,评价方法包括傅里叶变换(FT)法、对比梯度(CG)法及微分(DR)法。

起草单位

广州计量检测技术研究院、金发科技股份有限公司

起草人

王潇潇、韦争亮、王海燕、张鹏、张洁、程庆、熊磊、汪立文

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