晶圆表面颗粒度检查仪校准方法

DB13/T 5865-2023河北省

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2023-10-25

实施日期

2023-11-25

基础信息

标准号

DB13/T 5865-2023

批准发布部门

河北省市场监督管理局

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

A50

国际标准分类号

17.040.20

行业分类

科学研究和技术服务业

标准类别

方法标准

标准分类

河北省

标准层级

地方标准

备案信息

备案号

105126-2023

备案日期

2023-12-13

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