气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气 组分含量

DB53/T 618-2014云南省

废止

标准状态

发布日期

2014-08-28

实施日期

2014-12-01

基础信息

标准号

DB53/T 618-2014

批准发布部门

云南省质量技术监督局

技术归口

云南省检验检测标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

G10

国际标准分类号

71.040.40

行业分类

制造业

标准类别

方法标准

标准分类

云南省

标准层级

地方标准

备案信息

备案号

43241-2014

备案日期

2014-09-03

适用范围

本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量测定的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。 本标准适用于氢化尾气中氢气(H2)、氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)和四氯化硅(SiCl4)含量的测定.

起草单位

昆明冶研新材料股份有限公司

起草人

张云晖、金波、亢若谷、白荣林、马启坤、徐远志、徐灵通、赵建为、杨红燕、于晓艳、左世芳、陶明、赵祖乔。

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