碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法(外文版EN)

Test method for thickness of silicon carbide epitaxial layer—Infrared reflectance method

GB/T 42905-2023 推荐性国家标准

现行

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标准状态

发布日期

2024-04-12

实施日期

基础信息

标准号

GB/T 42905-2023

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

原文语种

EN

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.04

标准层级

国家标准

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