掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped, phosphorus-doped, and arsenic-doped silicon

GB/T 13389-2014推荐性国家标准

现行

相似
更新日期:2026-02-20

标准状态

发布日期

2014-12-31

实施日期

2015-09-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

H80

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

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