离子束蚀刻机通用规范

General specification of ion beam etching system

GB/T 15861-2012 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2012-11-05

实施日期

2013-02-15

基础信息

标准号

GB/T 15861-2012

批准发布部门

工业和信息化部（电子）

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

工业和信息化部（电子）

标准分类

中国标准分类号

L97

标准层级

国家标准

专题

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