硬面光掩模基板

Hard surface photomask substrates

GB/T 15871-1995 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

1995-12-22

实施日期

1996-08-01

基础信息

标准号

GB/T 15871-1995

批准发布部门

国家标准委

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31.030

标准层级

国家标准

专题

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