关键尺寸(CD)计量方法

CD Metrology procedures

GB/T 17864-1999 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

1999-09-13

实施日期

2000-06-01

基础信息

标准号

GB/T 17864-1999

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家质量技术监督局

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L56

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

专题

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