物理气相沉积TiN薄膜技术条件

Specifications of physical vapour deposition TiN films

GB/T 18682-2002推荐性国家标准

现行

相似
更新日期:2026-02-23

标准状态

发布日期

2002-03-10

实施日期

2002-08-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

A29

国际标准分类号

25.220.20

标准层级

国家标准

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