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硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

Test method for Ⅲ and Ⅴ impurities content in single crystal silicon—Low temperature FT-IR analysis method

GB/T 24581-2022 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2022-03-09

实施日期

2022-10-01

基础信息

标准号

GB/T 24581-2022

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

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