真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

GB/T 25755-2010 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2010-12-23

实施日期

2011-10-01

基础信息

标准号

GB/T 25755-2010

批准发布部门

中国机械工业联合会

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国机械工业联合会

标准分类

中国标准分类号

J78

国际标准分类号

23.160

标准层级

国家标准

专题

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