硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

GB/T 28275-2012推荐性国家标准

现行

相似
更新日期:2026-03-19

标准状态

发布日期

2012-05-11

实施日期

2012-12-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

L55

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

GB/T 28275-2012 相关专题

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