Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process
现行
2012-05-11
2012-12-01
GB/T 28275-2012
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
L55
31.200
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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