碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法

Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers

GB/T 30867-2014推荐性国家标准

废止

更新日期:2026-07-27

标准状态

发布日期

2014-07-24

实施日期

2015-02-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

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