椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer

GB/T 31225-2014 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2014-09-30

实施日期

2015-04-15

基础信息

标准号

GB/T 31225-2014

批准发布部门

中国科学院

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国科学院

标准分类

中国标准分类号

J04

国际标准分类号

17.040.01

标准层级

国家标准

专题

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