Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
现行
2017-11-01
2018-05-01
GB/T 34894-2017
国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
L55
31.200
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
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| GB/T 44551-2024 | 光学功能薄膜 耐候性测定方法 溶剂诱导法 | 现行 | 2024-09-29 | 2025-04-01 |
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| GB 23719-2009 | 眼科光学和仪器 光学助视器 | 现行 | 2009-05-06 | 2010-03-01 |
| GB/T 16857.13-2025 | 产品几何技术规范(GPS) 坐标测量系统(CMS)的验收检测和复检检测 第13部分：光学三维坐标测量系统 | 现行 | 2025-05-30 | 2025-09-01 |
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