微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

Micro electromechanical system technology—Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element

GB/T 34898-2017推荐性国家标准

现行

更新日期:2026-02-14

标准状态

发布日期

2017-11-01

实施日期

2018-05-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

L55

国际标准分类号

31.200

标准层级

国家标准

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