制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy

GB/T 36646-2018 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2018-09-17

实施日期

2019-01-01

基础信息

标准号

GB/T 36646-2018

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

L95

国际标准分类号

31.220

标准层级

国家标准

专题

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