含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

Information model for containing process chamber IC equipment design

GB/T 37959-2019 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2019-08-30

实施日期

2020-03-01

基础信息

标准号

GB/T 37959-2019

批准发布部门

中国机械工业联合会

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国机械工业联合会

标准分类

中国标准分类号

J07

国际标准分类号

35.240.50

标准层级

国家标准

专题

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