基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

GB/T 38614-2020 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2020-04-28

实施日期

2020-11-01

基础信息

标准号

GB/T 38614-2020

批准发布部门

工业和信息化部（电子）

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

工业和信息化部（电子）

标准分类

中国标准分类号

N10

国际标准分类号

01.040.39

标准层级

国家标准

专题

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