基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

GB/T 38614-2020推荐性国家标准

现行

更新日期:2026-03-20

标准状态

发布日期

2020-04-28

实施日期

2020-11-01

基础信息

标准分类

中国标准分类号

N10

国际标准分类号

01.040.39

标准层级

国家标准

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