纳米定位与扫描平台术语

Terminology for nano positioning and scaning stage

GB/T 38616-2020 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2020-04-28

实施日期

2020-11-01

基础信息

标准号

GB/T 38616-2020

批准发布部门

工业和信息化部（电子）

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

工业和信息化部（电子）

标准分类

中国标准分类号

N10

国际标准分类号

01.040.39

标准层级

国家标准

专题

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