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硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法

Test method for thickness of films on silicon wafer surface—Optical reflection method

GB/T 40279-2021 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2021-08-20

实施日期

2022-03-01

基础信息

标准号

GB/T 40279-2021

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

专题

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