Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
现行
2022-07-11
2023-02-01
GB/T 41652-2022
国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
H82
29.045
国家标准
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| T/ZZB 3882-2024 | 等离子刻蚀机用硅环 | 现行 | 2024-12-02 | 2025-01-02 |
| DB34/T 3438-2019 | 清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术要求 | 现行 | 2019-11-04 | 2019-12-04 |
| DB43/T 2903-2024 | 益生菌及其制品生产技术规范 | 现行 | 2024-01-09 | 2024-04-09 |