刻蚀机用硅电极及硅环

Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine

GB/T 41652-2022 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2022-07-11

实施日期

2023-02-01

基础信息

标准号

GB/T 41652-2022

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

标准层级

国家标准

专题

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