光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法

Methodology for the quantitative inspection of the defect on optics surface—Microscopic scattering dark-field imaging

GB/T 41805-2022 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2022-10-14

实施日期

2023-05-01

基础信息

标准号

GB/T 41805-2022

批准发布部门

中国兵器工业集团公司

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

中国兵器工业集团公司

标准分类

中国标准分类号

N05

国际标准分类号

81.040.01

标准层级

国家标准

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