硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法

Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method

GB/T 42263-2022 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2022-12-30

实施日期

2023-04-01

基础信息

标准号

GB/T 42263-2022

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

专题

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