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碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法

Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics

GB/T 43313-2023 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2023-11-27

实施日期

2024-06-01

基础信息

标准号

GB/T 43313-2023

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

专题

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