微机电系统(MEMS)技术 MEMS膜残余应力的晶圆曲率和悬臂梁挠度试验方法

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films

GB/T 44517-2024 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2024-09-29

实施日期

2025-04-01

基础信息

标准号

GB/T 44517-2024

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

L59

国际标准分类号

31.080.99

标准层级

国家标准

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