金刚石单晶抛光片位错密度的测试方法

Test method for dislocation density of diamond single crystal polished wafer

GB/T 47080-2026 推荐性国家标准

即将实施

标准状态

发布日期

2026-01-28

实施日期

2026-08-01

基础信息

标准号

GB/T 47080-2026

批准发布部门

国家标准委

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口

国家标准委

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040

标准层级

国家标准

专题

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