机械电气安全 机械电气设备 第33部分:半导体设备技术条件

Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

GB/T 5226.33-2017 推荐性国家标准

现行

标准状态

发布日期

2017-10-14

实施日期

2018-05-01

基础信息

标准号

GB/T 5226.33-2017

批准发布部门

中国机械工业联合会

发布部门

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口

中国机械工业联合会

是否采用国际标准

该标准采用国际标准

标准分类

中国标准分类号

J09

国际标准分类号

29.020

标准层级

国家标准

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