| 指标名称 | 合格区间 | 临界阈值 | 不合格判定标准 |
|---|---|---|---|
| SF₆回收率 | 95.0% ~ 99.5% | 94.5% | <94.5% 或单批次波动>3% |
| 净化后纯度 | 99.90% ~ 99.99% | 99.85% | <99.85% 或含单一杂质>0.03% |
| 空气杂质 | ≤0.03% | 0.045% | >0.05% 或O₂单独>0.02% |
| 水分含量 | ≤3μL/L | 4.5μL/L | >5μL/L 或露点>-58℃ |
| 酸性分解物 | ≤0.1μg/g | 0.25μg/g | >0.3μg/g 或检出SO₂F₂>0.05μg/g |
| 油分残留 | ≤5mg/kg | 8mg/kg | >10mg/kg 或出现可见油膜 |
| 颗粒物数量 | ≤50个/mL | 80个/mL | >100个/mL 或≥5μm颗粒>5个/mL |
| 系统泄漏率 | ≤0.3%/年 | 0.45%/年 | >0.5%/年 或局部泄漏>1×10⁻⁶ Pa·m³/s |
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| AQ 2023-2025 | 耐火材料生产安全规范 | 现行 | 2025-11-14 | 2026-06-01 |