喷雾式涂覆设备通用规范

SJ/T 11576-2016SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2016-01-15

实施日期

2016-06-01

基础信息

标准号

SJ/T 11576-2016

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

制修订

制定

标准分类

标准类别

标准分类

中国标准分类号

国际标准分类号

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

54855-2016

备案日期

2016-06-22

起草单位

沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

贺立波、徐春旭、汪明波等

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