光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

SJ/T 31080-2016 SJ电子

现行

标准状态

发布日期

2016-01-15

实施日期

2016-06-01

基础信息

标准号

SJ/T 31080-2016

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

中国电子技术标准化研究院

制修订

修订

标准分类

中国标准分类号

L01

国际标准分类号

31.550

标准类别

产品标准

标准分类

电子

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

54914-2016

备案日期

2016-06-22

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所

起草人

张倩、石少青、辛士卓等

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