硅粉输送用陶瓷球阀 技术条件

本标准规定了硅粉输送用陶瓷球阀的型号及结构、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。本标准适用于单晶硅和多晶硅生产中输送硅粉用的整体式陶瓷球阀，其他高纯工业粉体输送用陶瓷球阀可参照执行。