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化学气相沉积炉

YS/T 1031-2025YS有色金属

现行

更新日期：2026-09-12

标准状态

发布日期

2025-08-19

实施日期

2026-03-01

基础信息

标准号

YS/T 1031-2025

批准发布部门

工业和信息化部

制修订

修订

标准分类

中国标准分类号

H91

国际标准分类号

77.18

行业分类

制造业

标准类别

产品标准

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

103191-2025

备案日期

2025-12-31

适用范围

本文件规定了化学气相沉积炉的结构型式与组成、技术要求、试验方法、检验规则和技术分级、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于制备金属及金属合金材料、金属复合材料、碳及碳化硅材料、无机材料等的化学气相沉积炉

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