异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

YS/T 14-2015 YS有色金属

现行

标准状态

发布日期

2015-04-30

实施日期

2015-10-01

基础信息

标准号

YS/T 14-2015

批准发布部门

工业和信息化部

技术归口

全国有色金属标准化技术委员会

制修订

修订

标准分类

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

77.040.

行业分类

制造业

标准类别

方法标准

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

50403-2015

备案日期

2015-07-08

适用范围

本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人

马林宝、杨帆、葛华等

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