碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

YS/T 1600-2023YS有色金属

现行

标准状态

发布日期

2023-04-21

实施日期

2023-11-01

基础信息

标准号

YS/T 1600-2023

批准发布部门

工业和信息化部

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040.30

行业分类

制造业

标准类别

方法标准

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

93568-2024

备案日期

2024-03-14

适用范围

本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定。

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