首页/行业标准/YS有色金属 / YS/T 1653-2023

氮化镓衬底片

YS/T 1653-2023 YS有色金属

现行

标准状态

发布日期

2023-12-20

实施日期

2024-07-01

基础信息

标准号

YS/T 1653-2023

批准发布部门

工业和信息化部

制修订

制定

标准分类

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

行业分类

制造业

标准类别

产品标准

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案号

94810-2024

备案日期

2024-07-03

适用范围

本文件适用于半导体光电器件与电子器件用氮化镓衬底片的研发生产、测试检验等相关领域。

YS/T 1653-2023 相关专题

YS/T 1653-2023 相似标准

标准号 标准名称 状态 发布日期 实施日期
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法 现行 2015-12-10 2016-11-01
GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法 现行 2009-10-30 2010-06-01
T/CASAS 014-2021 碳化硅衬底基平面弯曲的测定 高分辨X射线衍射法 现行 2021-11-01 2021-12-01
GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化镓衬底 现行 2014-07-24 2015-04-01
GB/T 30858-2014 蓝宝石单晶衬底抛光片 废止 2014-07-24 2015-04-01
SJ/T 11865-2022 功率器件用φ150mm n型碳化硅衬底 现行 2022-10-20 2023-01-01
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范 现行 2018-12-28 2019-07-01
GB/T 43662-2024 蓝宝石图形化衬底片 现行 2024-03-15 2024-10-01
GB/T 30861-2014 太阳能电池用锗衬底片 现行 2014-07-24 2015-04-01
GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法 现行 2015-12-10 2016-11-01
T/CASAS 004.1-2018 4H碳化硅衬底及外延层缺陷术语 现行 2018-11-20 2018-11-20
T/ZZB 2332-2021 发光二极管用蓝宝石衬底抛光片 现行 2021-08-30 2021-09-30
DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法 现行 2022-10-23 2022-11-23
GB/T 30858-2025 蓝宝石单晶衬底抛光片 即将实施 2025-10-31 2026-05-01
GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法 现行 2022-10-14 2023-02-01
SJ/T 11869-2022 硅衬底白光功率发光二极管芯片详细规范 现行 2022-10-20 2023-01-01
GB/T 47089-2026 蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法 即将实施 2026-01-28 2026-08-01
SJ/T 11868-2022 硅衬底蓝光功率发光二极管芯片详细规范 现行 2022-10-20 2023-01-01
T/ZJCX 0049-2024 碳化硅衬底激光剥离设备 现行 2024-12-24 2024-12-25
GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法 现行 2017-05-31 2017-12-01
GB/T 30856-2025 LED外延芯片用砷化镓衬底 现行 2025-08-01 2026-02-01
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法 现行 2012-11-07 2013-03-01
GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法 现行 2014-12-31 2015-09-01
GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法 现行 2018-09-17 2019-06-01
SJ/T 11864-2022 半绝缘型碳化硅单晶衬底 现行 2022-10-20 2023-01-01
YS/T 1647-2023 电解钛 现行 2023-12-20 2024-07-01