硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法

YS/T 23-1992YS有色金属

废止

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更新日期:2026-07-28

标准状态

发布日期

1992-03-09

实施日期

1993-01-01

废止日期

1992-03-09

基础信息

标准号

YS/T 23-1992

制修订

制定

标准分类

标准类别

无

标准分类

有色金属

标准层级

行业标准

备案信息

备案日期

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