现行
2021-12-02
2022-04-01
85561-2022
2022-04-13
本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。
| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
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