扫描探针显微镜校准规范

Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes

JJF 1351-2012计量规范

现行

更新日期:2026-09-12

标准状态

发布日期

2012-06-18

实施日期

2012-09-18

基础信息

标准号

JJF 1351-2012

批准发布部门

国家质量监督检验检疫总局

技术归口

全国几何量长度计量技术委员会

标准分类

标准层级

计量规范

起草单位

中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院

起草人

朱振宇、任冬梅、傅云霞、李源、吕小洁

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