| 标准号 | 标准名称 | 状态 | 发布日期 | 实施日期 |
|---|---|---|---|---|
| GB/T 34971-2017 | 半导体制造用气体处理指南 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| GB/T 38386-2019 | 气体分析 气体中氮氧化物的测定 光腔衰荡光谱法 | 现行 | 2019-12-31 | 2020-11-01 |
| GB/T 37007-2018 | 电子级三甲基镓 | 现行 | 2018-12-28 | 2019-04-01 |
| GB/T 44332-2024 | 三氟氯乙烯 | 现行 | 2024-08-23 | 2025-03-01 |
| GB/T 34710.3-2018 | 混合气体的分类 第3部分：可燃性分类 | 现行 | 2018-02-06 | 2018-09-01 |
| GB/T 14851-2025 | 电子特气 磷化氢 | 现行 | 2025-03-28 | 2025-10-01 |
| GB/T 34246-2017 | 焦炉气制甲烷安全技术规程 | 现行 | 2017-09-07 | 2018-04-01 |
| GB/T 34710.2-2018 | 混合气体的分类 第2部分：腐蚀性分类 | 现行 | 2018-02-06 | 2018-09-01 |
| GB/T 18867-2025 | 电子气体 六氟化硫 | 现行 | 2025-04-25 | 2025-11-01 |
| GB/T 38866-2020 | 电子工业用二氯硅烷 | 现行 | 2020-07-21 | 2021-02-01 |
| GB/T 40417-2021 | 电子特气 六氟丁二烯 | 现行 | 2021-08-20 | 2022-03-01 |
| GB 4962-2008 | 氢气使用安全技术规程 | 现行 | 2008-12-11 | 2009-10-01 |
| GB/T 34972-2017 | 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | 现行 | 2017-11-01 | 2018-02-01 |
| GB/T 6285-2016 | 气体中微量氧的测定 电化学法 | 现行 | 2016-12-13 | 2017-07-01 |
| GB/T 5831-2011 | 气体中微量氧的测定 比色法 | 现行 | 2011-12-30 | 2012-10-01 |
| GB/T 38523-2020 | 混合气体的制备 压力法 | 现行 | 2020-03-06 | 2021-02-01 |
| GB/T 26570.1-2011 | 气体中颗粒含量的测定 光散射法 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定 | 现行 | 2011-06-16 | 2011-11-01 |
| GB/T 38677-2020 | 气体分析 测量过程及结果 校准技术要求 | 现行 | 2020-03-31 | 2021-02-01 |
| GB/T 16942-2025 | 电子气体 大宗气体 | 现行 | 2025-08-01 | 2026-02-01 |
| GB/T 5832.2-2016 | 气体分析 微量水分的测定 第2部分：露点法 | 现行 | 2016-12-13 | 2017-07-01 |