碳化硅单晶抛光片堆垛层错测试方法

Test method for stacking faults of polished monocrystalline silicon carbide wafers

GB/T 47082-2026推荐性国家标准

即将实施

上传时间:2026-03-18
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GB/T 47082-2026 相似标准 第15页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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