电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

GB/T 37049-2018推荐性国家标准

现行

GB/T 37049-2018 相似标准 第2页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
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