电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

GB/T 37049-2018推荐性国家标准

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GB/T 37049-2018 相似标准 第6页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态实施日期相似标准
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GB/T 28159-2025电子级磷酸即将实施2026-03-01找相似
GB/T 11446.3-2013电子级水测试方法通则现行2014-08-15找相似
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GB/T 46697-2025电子级八甲基环四硅氧烷即将实施2026-05-01找相似
GB/T 46699-2025电子级四甲基硅烷即将实施2026-05-01找相似
GB/T 46698-2025电子级四氯化钛即将实施2026-05-01找相似
T/CCGA 30008-2025电子级乙炔现行2025-05-25——
T/CISIA 008-2024电子级过硫酸盐现行2025-01-01——