硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of cutting and pull-press strength of micro bonding area

GB/T 28277-2012推荐性国家标准

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GB/T 28277-2012 相似标准 第12页

更新时间 2026-10-25
标准号标准名称状态发布日期实施日期
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